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质量检测

14种洁净室质量检定项目及方法

洁净度测试


检测点:每9M2测1点或依NEBB建议点数面积×64 /(10M)0.5 。  

检测高度:Probe取样口高度110cm,详左下Dwg-1 。    

检测仪器:Particle Counter,需有固定支撑架,不得用手持。       

检测次数每ㄧ检测点至少3次,1次1分钟。

验收标准:As Built验收标准为ISO 14644/Fed209E。

※Owner特殊要求:As Built以1/10浓度标准验收。






FFU过滤器风速测试


检测点:详左下图 Dwg-1、Dwg.2,每个 Ceiling Filter测3点取其平均值。       

检测仪器需有固定支撑架,不得用手持。       

每ㄧ检测点至少维持10秒。

验收标准:每ㄧ0.8VD≦VPn ≦ 1.2VD 即±20%内。0.9VD≦VAVG ≦ 1.1VD即±10%内。






FFU过滤器泄漏测试


测试前先将Return Air之Pre-Filter除去,并用Aerosol Generator产生100,000 pcs/ft3@0.2μm之Particles。       

于无尘室风速检测完成符合规范,温湿度、正压在稳定条件下检测。       

检测点距离及方向详左下图 Dwg-1、Dwg.2 。

移动之速度小于5cm/sec ,每片4’ x 4’之Filter约5分钟以上, 4’ x 2’之Filter约3分钟以上。

若不易检测可四周以抗静电PVC帘围住,避免受周遭影响。

验收标准:于同ㄧ点内无连续泄漏量(0.1μm)

※Owner特殊要求:检测未确实。提供:2 x N2(Free)






洁净室静压测试


检测时机:必须完成Air flow velocity(风速)与气密测试。

检测点:每ROOM对应测试ZONE(或室外)至少取1点测量。

检测仪器: 0~5mmAq / ±0.1刻度之微型压差计或数字显示压差计。

每ㄧ检测点至少维持10秒。

验收标准:较设计规范值高0~20%。






单向流测试


检测点:每9M2测1点。  

检测仪器:以超音波3D风速计Ultrasonic Anemometer Probe或以固定架持entrance plane取filter下0.5m处,L取100CM之铅垂与丝线,详左下Dwg-1。

每ㄧ检测点至少静置1分钟。

验收标准:θ≦14






照度测试


检测点:每20M2测1点。  

检测高度:Probe高度110cm,详右下Dwg-1 。

检测仪器:Illumination Meter照度计(符合JIS1609)需有固定支撑架,不得用手持。       

检测时机:确定灯光系统已运转100Hr.后,检测须于所有灯光开120Hr.后方能施测。

验收标准:符合规范要求。







噪音测试


检测点:每100M2测1点。  

检测高度:Probe高度120cm,离墙至少2M,详下图Dwg-1 。

检测仪器:Sound Level Meter (Include Octave Band Analyzer),需有固定支撑架,不得用手持。       

检测时间:确定厂务设备已运转至少24Hr. 后方能施测。

检测时间:至少5分钟,取无工程进行时检测数据,避免干扰。

验收标准:≦NC60。






温/湿度测试


检测点:每9M2测1点。  

检测高度:Probe取样高度110cm,详左下Dwg-1 。    

检测仪器:Temp./RH% Meter (精确度:±1℃/ ± 1%) ,需有固定支撑架,不得用手持。       

检测时间:每ㄧ检测点至少连续1Hr.,且至少每6分钟记录1笔资料。

检测前乙方须提供详细检测方法供甲方确认之(介于As-Built与Operation两阶段之冷却负荷状况差异应列入考虑)

验收标准:符合规范要求。

※Owner特殊要求:As-Built时,检测48Hr.之温湿度连续监视数据






微震测试


检测点:每个Wafer Slab至少测2点。  

检测高度:Slab地板面上。    

检测仪器:可检测速度及位移之低频可变波段震动仪器(0~200HZ)。       

检测时机:二次,ㄧ次于无尘室施工前,另ㄧ次于As-Built阶段。

验收标准: As-Built阶段之最终检测值不得大于无尘室施工前之震动值。

运转设备震动:依三阶段Check List震动标准验收。

※微震动由业主委托之顾问检测及提出建议改善报告。






室内材料导电率测试


检测材料:高架地板、无尘室隔间。  

检测点:检测建材与地线之测量值,检测点数1点/100M2;每ROOM 至少2点。

检测方式:阻值 ≦ 106MΩ→DC100V检测电压。

检测方式:阻值>106MΩ→DC500V检测电压。

检测仪器:高阻计Resistance Meter,检测时C/R温湿度已达稳定。       

验收标准:高架地板→104~106MΩ、无尘室隔间→106~108MΩ 、建材与地线≦100Ω。






无尘车间恢复速度测试



检测点:每150M2测1点。  

检测高度: 同Cleanliness,Probe取样口高度110cm。

检测仪器:Aerosol Generator / Particle Counter。       

检测方式:以Aerosol Generator产生100倍无尘室等级规格之粒子数(或无尘室FFU停机待浓度上升),然后以Particle Counter每分钟量测一次,直至无尘室等级恢复设计值,记录所需之时间。

验收标准:需于10分中内恢复无尘室等级。






防静电测试



检测点:由Owner指定位置。  

检测高度:高度110cm (Ionizer Performance) ,物体表面静电部份约离表面1英吋。

检测仪器:20pf electro static discharge monitor w/150 x 150mm panel需符合EOS/EOD标准S3.1-1991年版(Ionizer Performance),环境物体表面静电测试采静电场测量器Electrostatic Field meter。 

验收标准:自±1000V至±100V放电时间为20~60秒。(Ionizer Performance),物体表面标准≦±35V。






风机测试


1、准备事项:  

风机性能曲线图。

风管系统流程内之风门安装位置及开关状况检查。       

风管测试孔安装位置确认 。

2、风机测试:  

风机吸入与吐出端全压测试(如下Dwg-1)。

风机单机总风量测试。       

风机多台并联运转,并联后运转曲线及运转点量测 。

※变频风机需量测卸除变频数值。

3、矩形风管测试孔位置及数量(如下Dwg-1、下Table-1) :





4、圆形风管测试孔位置及数量(如下Dwg-3): 

5、盘管/滤网测试点位置及数量(如下Dwg-4):

6、风管格栅风口测试点位置及数量(如下Table-2):



7、风速测试注意事项:





8、风量平衡调整测试:






过滤器的CFD压力分析




测试工具

7种洁净室品质测试工具

品质管理

9道品控项目,7大管理措施

材料品管:于设备材料采购时,即应依制造批次提出材质证明及检验报告。


工厂品管:设备制作过程中,至制作工厂进行现场检验,如:组件品牌、组装流程、作业质量、环境等。


运输品管:设备管材在运送之前,应做好包装及保护措施并于运送过程做好装卸及堆栈安全措施。


现场保管:设备抵达现场应规划堆置贮存区,并做好相关天气状况及洁净度等防护措施。


材料检验:现场根据规范要求及供应商提供的材料检验进厂材料。


施工品管:安装过程中,需要时填写中间检查表,随时掌控相关组装接合质量,如螺栓接合、焊接等。


设备检验:组装完成的设备(如配电柜)须就外观、连接点及其他相关技术需求进行检验。


仪器校正:安装完成的仪器须进行精确度校正,并做好相关衔接要求。


作业程序品管:施工过程中须就相关设备、仪器及管线进行程序安排并掌控相关进度。



· 静态管理:依业主规范实施人员、车辆、证件管理


· 动态管理:施工现场巡检稽核查验并予以纪录处理


· 安全管理:协议组织,施工、吊装、动火、特殊作业


· 环境卫生:6S稽核、环境卫生管理


· 警勤管理:证件管制办理、进出厂管制


· 教育倡导:工具箱会议、教育训练、倡导管制


· 人员管理:统一制施工背心、安全帽规范


验收标准

13项无尘车间验收标准



√:需保证

△:测试数据仅供参考

X :不须保证

微震(Vibration)测试在无尘室建造前及建造完成后而制程设备尚未移入之前进行(As-Built)机为无尘室建造前及建造完成后而制程设备尚未移入前(As-Built)