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√：需保证
△：测试数据仅供参考
X ：不须保证
微震(Vibration)测试在无尘室建造前及建造完成后而制程设备尚未移入之前进行（As-Built）机为无尘室建造前及建造完成后而制程设备尚未移入前(As-Built)
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