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√:需保证
△:测试数据仅供参考
X :不须保证
微震(Vibration)测试在无尘室建造前及建造完成后而制程设备尚未移入之前进行(As-Built)机为无尘室建造前及建造完成后而制程设备尚未移入前(As-Built)
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